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  当前位置首页 - 产品分类 - 半导体特气检漏仪
 
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产品名称
半导体特气检漏仪
产品型号
XP-703D
生产厂商
日本新宇宙
产品简介
详细介绍
   

 

最适合于检测半导体特气的微量泄漏。

采用声光报警。

 

型号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷 磷烷乙硼烷硅烷氢气

AsH3PH3B2H6SiH4H2

0.20.30.10.51.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

 

 

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