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  当前位置首页 - 产品分类 - 半导体特气检漏仪
 
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产品名称
半导体特气检漏仪
产品型号
XD-303
生产厂商
日本新宇宙
产品简介
详细介绍
   

 

特点:

采用定电位电解式传感器,对被测气体具有选择性。

高检测灵敏度。

能检测很多种类的半导体特气。

液晶数字显示。

 

型号

XD-303AH XD-303PH XD-303BH XD-303

检测对象气体

砷烷 (ASH3)

磷烷 (PH3)

乙硼烷(B2H6)

其它

检测范围

0~1ppm

0~0.2ppm

0~1ppm

0~0.3ppm

0~1ppm

因规格而异

最小刻度

0.1ppm

0.01ppm

0.1ppm

0.01ppm

0.1ppm

 

采样方式

自动吸引式

应答速度

60%应答40秒

 

 

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